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双轴MEMS谐振式加速度传感器结构
- 专利权人:
- 中北大学
- 发明人:
- 石云波,刘俊,曹慧亮,任建军,唐军,马宗敏,黄堃,康强,冯恒振,寇志伟,连树仁,孙亚楠,韩兴宇
- 申请号：
- CN201611205923.6
- 公开号：
- CN106597011B
- 申请日:
- 2016.12.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 朱源`王勇
- 摘要：
- 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
