PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent electrostatic destruction during manufacture without causing a decrease in sensor performance.SOLUTION: Photodiodes with attached MOS switches are mounted in a sensor area and an electro static discharge (ESD) countermeasure area at the periphery thereof. During manufacture, a photodiode in the ESD countermeasure area is caused to function as an ESD countermeasure element, and the photodiode in the ESD countermeasure area is removed in the final step of manufacture. The present disclosure may be adapted for a roentgen device.SELECTED DRAWING: Figure 3【課題】センサとしての性能を低下させることなく、製造中の静電破壊を防止できるようにする。【解決手段】MOSスイッチが付加されたフォトダイオードをセンサエリアと、その周辺のESD(Electro Static Discharge)対策エリアとに実装し、製造中においては、ESD対策エリアのフォトダイオードをESD対策素子として機能させ、製造の最終工程において、ESD対策エリアのフォトダイオードを除去する。本開示は、レントゲン装置に適応することができる。【選択図】図3
