The present invention relates to a sterilization apparatus and a sterilization method for increasing the efficiency of sterilization by promoting the generation of OH radicals by using a reaction between a drug such as hydrogen peroxide and ozone. The arrangement of the apparatus comprises Carrier gas supply means (T1) for generating a plasma jet Plasma power supply means (T2) A plasma jet generating means T3 And a means (T5) for storing the liquid disinfectant, the means (T5) for exposing the liquid disinfectant to the plasma and making it into liquid fine particles and spraying the liquid disinfectant with the carrier gas.본 발명은 과산화수소 등의 약품과 오존의 반응을 이용하여 OH 라디칼의 발생을 증진시켜 멸균의 효율을 높이는 멸균 장치 및 방법에 관한 것이다. 그 장치의 구성은 플라즈마 제트를 발생시키는 운반기체 공급 수단(T1) 플라즈마 전원 공급 수단(T2) 플라즈마 제트 발생 수단(T3) 액상 소독약품의 저장 수단(T4)을 포함하되, 상기 액상 소독약품을 플라즈마에 노출시키고 액상 미립자로 만들어 상기 운반기체와 함께 분무하는 수단(T5)을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
