micro-actuator is retracting the proximal end and the ear bone, which is configured to receive an electrical signal and a distal end configured to allow access through the side wall of the cochlea of the subject is inserted into the unit. Micro-actuator includes a piezoelectric transducer assembly which includes a piezoelectric resonator which is arranged on the membrane (piezoelectric vibrator having a dimension smaller than the dimension of the corresponding membrane), a first end about the first side of the piezoelectric transducer assembly and it was sealed with a second end on the diaphragm, and the sealed fluid cavity filled with fluid, I was sealed with a second end on the first end and the end cap on the second side of the piezoelectric transducer assembly, and a second cavity having a vacuum or gas.BACKGROUND 1マイクロアクチュエーターは、電気シグナルを受信するように構成された近位端と耳骨の開創部へ挿入して対象者の蝸牛の側壁を通じてのアクセスができるように構成された遠位端とを備える。マイクロアクチュエーターは、メンブレンに配置された圧電振動子(対応するメンブレンの寸法よりも小さい寸法を有する圧電振動子)を具備する圧電振動子アセンブリと、上記圧電振動子アセンブリの第一サイドに関する第一末端とダイアフラムに関する第二末端とで封止された、流体で満たされた密閉流体キャビティと、上記圧電振動子アセンブリの第二サイドに関する第一末端とエンドキャップに関する第二末端とで封止された、真空又はガスを有する第二キャビティと、を備える。【選択図】図1
