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一种具有倾斜微针结构的金属干式电极及其制造方法
- 专利权人:
- 厦门大学
- 发明人:
- 周伟,刘韶宇,刘伟,张陈应,褚旭阳,邓大祥
- 申请号:
- CN201610464387.5
- 公开号:
- CN106073752A
- 申请日:
- 2016.06.23
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 摘要:
- 一种具有倾斜微针结构的金属干式电极及其制造方法,涉及金属干式电极。所述电极设有金属电极芯、弹性内体、外壳、胶布和导线;弹性内体放置在外壳内部,由弹性内体上部的倒齿卡住;金属电极芯设在弹性内体下表面,金属电极芯上设有倾斜角度的微针阵列;导线从外壳中穿过并与金属电极芯相连;胶布粘在外壳两侧。制造方法:将金属薄片夹紧在载物平台上,激光通过激光反光镜后射入金属薄片上,形成具有倾斜角度的微针阵列的金属电极芯,清洗后,在金属电极芯上电镀Ag/AgCl镀层,得表面具有倾斜微针结构的金属电极芯;将导线与金属电极芯连接,将导线穿过外壳;将金属电极芯加热后附在弹性内体下表面上,得具有倾斜微针结构的金属干式电极。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/