A sensor for use in a fluid flow application is provided. The sensor includes an inlet chamber configured to receive a fluid flow from a first conduit, an outlet chamber configured to provide the fluid flow to a second conduit, and a membrane separating the inlet chamber from the outlet chamber, the membrane including a fluid passage to allow the fluid flow from the inlet chamber to the outlet chamber. The sensor also includes a circuit component disposed on the membrane, having an electrical property configured to change according to a deformation of the membrane, and a conductor formed on a substrate and coupled with the circuit component, to provide an electrical signal based on a change in the electrical property of the circuit component. The membrane includes an epitaxial layer formed on the substrate. Methods for fabricating and using the above sensor are also presented.La présente invention concerne un capteur destiné à être utilisé dans une application d'écoulement de fluide. Le capteur comprend une chambre d'entrée configurée pour recevoir un écoulement de fluide provenant d'un premier conduit, une chambre de sortie configurée pour fournir l'écoulement de fluide à un second conduit, et une membrane séparant la chambre d'entrée de la chambre de sortie, la membrane comprenant un passage de fluide pour permettre à l'écoulement de fluide de la chambre d'entrée à la chambre de sortie. Le capteur comprend également un composant de circuit disposé sur la membrane, ayant une propriété électrique configurée pour changer selon une déformation de la membrane, et un conducteur formé sur un substrat et couplé au composant de circuit, pour fournir un signal électrique sur la base d'un changement de la propriété électrique du composant de circuit. La membrane comprend une couche épitaxiale formée sur le substrat. L'invention concerne également des procédés de fabrication et d'utilisation du capteur décrit ci-dessus.
