PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oxidation treatment system capable of the generation of hydrogen peroxide gas not supplied to a treatment chamber.SOLUTION: An oxidation treatment system 1 includes a treatment chamber 2, an ozone gas generator 3 for generating ozone gas and a hydrogen peroxide gas generator 4 for generating hydrogen peroxide gas, and the hydrogen peroxide gas and ozone gas are used to perform the surface oxidation treatment of a treatment object in the treatment chamber 2. The hydrogen peroxide gas generator 4 is arranged in the treatment chamber 2.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】処理室内に供給されない過酸化水素ガスが生じることを防止することができる酸化処理システムを提供することを課題とする。【解決手段】処理室2と、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生装置3と、過酸化水素ガスを発生させる過酸化水素ガス発生装置4と、を具備し、過酸化水素ガスとオゾンガスとを用いて処理室2内の処理対象表面の酸化処理を行う、酸化処理システム1であって、過酸化水素ガス発生装置4が、処理室2内に配置される。【選択図】図1
