喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法
- 专利权人:
- 拓自达电线株式会社
- 发明人:
- 平野正树
- 申请号：
- CN201780014477.7
- 公开号：
- CN108698059A
- 申请日:
- 2017.03.17
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 黄泽雄
- 摘要：
- 实现易于在狭小区域成膜的、喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法。喷雾器喷嘴1具备：载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体入口部(2)、载气的通道沿着该载气的流向而扩大的通路扩大部(3)、形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口(4a)的开口形成部(4)、以及、所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体出口部(5)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
