microneedles and a method of manufacturing the same are disclosed . Provides a fine needle in the in-plane (in-plane) formed by the surface index of {110} crystalline wet etching the silicon substrate . Provides a fine needle having a tip (tip) of the fine needle -like form are many . In addition, the extension of the side walls of the microneedles , except for the fine needle tip provides a microneedle aligned along the {111} crystal plane of the vertical . The tip of the microneedle array is formed on the top and bottom surfaces of the {110} silicon substrate .미세바늘 및 그 제조방법이 개시된다. 면지수 {110}인 실리콘 기판을 결정성 습식 에칭에 의해 형성된 면내(in-plane)의 미세바늘을 제공한다. 미세바늘의 팁(tip) 형상이 여러가지 형태를 갖는 미세바늘을 제공한다. 또한, 미세바늘 팁을 제외한 미세바늘의 연장부의 측벽이 수직의 {111} 결정면을 따라 정렬된 미세바늘을 제공한다. 미세바늘의 팁 어레이는 {110} 실리콘 기판의 상면 및 하면에 형성된다.
