Eine Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen (10) mit einer Ladungsträgererzeugungseinrichtung (2), welche Ladungsträger erzeugt, mit einer Beschleunigungseinrichtung (4), welche die Ladungsträger in einer vorgegebenen Richtung (Z) innerhalb eines Gehäuses (6) beschleunigt und mit einem Austrittsfenster (12) durch welches die Ladungsträger aus dem Gehäuse (6) austreten, wobei die die Vorrichtung eine Sensoreinheit (20) aufweist, welche wenigstens einen Messwert erfasst, der für die aus dem Austrittsfenster (12) austretenden Ladungsträger charakteristisch ist. Erfindungsgemäß weist die Sensoreinheit (20) eine erste Sensoreinrichtung (22) auf, welche bezüglich des Austrittsfensters (12) derart angeordnet ist, dass sie Ladungsträger erfasst, welche in einer ersten vorgegebenen Richtung (Z) von dem Austrittsfenster (12) zu der ersten Sensoreinrichtung (22) gelangen sowie eine zweite Sensoreinrichtung (24), welche bezüglich des Austrittsfensters (12) derart angeordnet ist, dass sie Ladungsträger erfasst, welche in einer zweiten vorgegebenen Richtung (X) von dem Austrittsfenster (12) zu der zweiten Sensoreinrichtung (24) gelangen, wobei die Sensoreinrichtungen (22, 24) unabhängig voneinander jeweils Messwerte (M1, M2) erfassen, die für die aus dem Austrittsfenster (12) austretenden Ladungsträger charakteristisch sind.A device for sterilizing containers (10) with a charge carrier generation device (2) that generates charge carriers, with an acceleration device (4) that accelerates the charge carriers in a predetermined direction (Z) within a housing (6) and with an exit window (12 ) through which the charge carriers emerge from the housing (6), the device having a sensor unit (20) which detects at least one measured value which is characteristic of the charge carriers emerging from the exit window (12). According to the invention, the sensor unit (20) has a first sensor device (22), which is arranged with respect to the exit window (12) in such a way that it det
