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DOUBLE-HEADED GRINDING DEVICE AND METHOD FOR DOUBLE-HEADED GRINDING OF WORKPIECES
专利权人:
신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
发明人:
코바야시, 켄지
申请号:
KR20147036423
公开号:
KR101908359(B1)
申请日:
2013.06.03
申请国别(地区):
韩国
年份:
2018
代理人:
摘要:
본 발명은, 박판 형상의 워크를 직경 방향을 따라 외주 측으로부터 지지하는 자전가능한 링 형상 홀더와, 상기 링 형상 홀더에 의해 지지된 상기 워크의 양면을 동시에 연삭하는 한 쌍의 숫돌을 갖는 한 쌍의 숫돌을 가진 양두 연삭 장치에 있어서, 상기 링 형상 홀더의 자전축 방향 및 자전축에 수직한 방향의 양방향으로부터 공급되는 유체의 정압에 의해 상기 링 형상 홀더를 상기 양방향으로부터 비접촉 지지하는 정압 베어링을 더 구비하고, 상기 자전축 방향으로부터 공급되는 유체와 상기 자전축에 수직한 방향으로부터 공급되는 유체의 공급 압력을 각각 독립적으로 제어가능한 것을 특징으로 하는 양두 연삭 장치이다. 이에 따라, 워크의 로트나 숫돌에 의존하여 발생하는 나노토포그래피의 편차를 개선하고, 연삭별로 안정적이고 고정밀한 나노토포그래피를 얻을
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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