An oxygen concentration apparatus (300) according to the present invention has: pressure swing adsorption type oxygen concentration means (310)； and a control means (350) that controls switching means (316) that switches between intake of pressurized air into an adsorption column (312) and exhaust from the adsorption column. The switching means is controlled based on pressure in oxygen concentrated gas in the conduit measured by pressure measuring means to adjust a cycle of adsorption and regeneration processes of the oxygen concentration means so that pressure at the upstream of flow rate adjusting means (340) can be controlled and, as a result, the need for a mechanical pressure regulating valve, that has been needed conventionally, can be eliminated. Further, there is also shown a gas supply apparatus that comprises ultrasonic type gas concentration and flow rate measuring means that comprises, in turn, two ultrasonic transducers that is disposed in an opposed manner in the conduit through which product gas flows so that a concentration value measured when the product gas output is stopped is determined to be a product gas concentration.본 발명에 의한 산소 농축 장치 (300) 는, 압력 변동 흡착형의 산소 농축 수단 (310), 흡착통 (312) 으로의 가압 공기의 흡기 및 흡착통으로부터의 배기를 전환하는 전환 수단 (316) 을 제어하는 제어 수단 (350) 을 갖는다. 압력 측정 수단에 의해 측정된 도관 중의 산소 농축 가스의 압력에 기초하여, 전환 수단을 제어함으로써 산소 농축 수단의 흡착 공정과 재생 공정의 주기를 조절하고, 유량 조절 수단 (340) 의 상류측의 압력을 제어할 수 있어, 종래 필요하였던 기계적 조압 밸브가 불필요해진다. 또한, 제품 가스가 흐르는 배관 중에, 대향시켜 배치한 2 개의 초음파 진동자를 구비한 초음파식 가스 농도 유량 측정 수단을 구비하고, 제품 가스 출력이 정지하여 있는 상태에 있어서의 농도 측정값을 제품 가스 농도로 하는 기체 공급 장치도 개시되어 있다.
