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Verfahren zur galvanischen Abscheidung einer Elektrode auf einem dielektrischen Substrat
专利权人:
DYCONEX AG
发明人:
HAUER, MARC
申请号:
EP11185353.7
公开号:
EP2453471A3
申请日:
2011.10.17
申请国别(地区):
EP
年份:
2013
代理人:
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur galvanischen Abscheidung einer Elektrode aus einem metallischen Elektrodenmaterial (40) auf einem dielektrischen Substrat (10), wobei folgende Schritte ausgeführt werden:- Abscheiden einer elektrisch leitfähigen Polymerschicht (20)- Maskieren der elektrisch leitfähigen Polymerschicht (20) mit einer Maske- galvanische Abscheidung des metallischen Elektrodenmaterials (40) auf der elektrisch leitfähigen Polymerschicht (20)- Entfernen der Maske- Entfernen oder Deaktivieren der überschüssigen leitfähigen Polymerschicht (20).the invention concerns a method for galvanic deposition of a electrode of a metallic elektrodenmaterial (40) on a dielectric substrate (10), the following steps are executed:an electrically conductive polymer - separation (20).the electrically conductive polymer - mask (20) with a mask.- galvanic separation of metallic elektrodenmaterials (40) on the electrically conductive polymer (20).- remove the mask.- remove or disable the excess conductive polymer (20).
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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