The present invention relates to a sterilization device (1) for sterilization of an object, said sterilization device (1) receiving an object to be sterilized having a sterilization medium inlet (3a) and a sterilization medium outlet (3b). A chamber (2) for controlling the supply of the sterilizing medium to the chamber (2), an inlet flow rate control device (14) connected to the sterilizing medium inlet (3a), A drain system (6) connected to the sterile medium outlet (3b) of the chamber (2), the inlet flow control device (14) and the drain system ( A control unit (12) connected to 6) and configured to control the inlet flow control device (14) and the drain system (6) according to a predetermined sterilization plan, The drain system (6) is connected to a drain inlet (60) connected to the sterilization medium outlet (3b) of the chamber (2) and a vacuum system (8) for emptying the chamber (2). A drain outlet (62), a first conduit (64) connecting the drain inlet (60) and the drain outlet (62), and a proportional valve (66) disposed along the first conduit (64); A control unit (12) for partially restricting the flow of fluid through the first conduit (64) according to a predetermined continuous relationship between the control parameter and the valve opening of the proportional valve (66). And a proportional valve (66).本発明は、対象物の滅菌のための滅菌装置(1)に関し、前記滅菌装置(1)は、滅菌媒体注入口(3a)及び滅菌媒体注出口(3b)を有する、滅菌する対象物を受け入れるためのチャンバ(2)と、前記チャンバ(2)への滅菌媒体の供給を制御するための滅菌媒体注入口(3a)に接続される注入口流量制御デバイス(14)と、前記チャンバ(2)からの流体を制御可能に放出するために、チャンバ(2)の前記滅菌媒体注出口(3b)に接続されるドレインシステム(6)と、前記注入口流量制御デバイス(14)及び前記ドレインシステム(6)に接続され、且つ所定の滅菌計画に従って、前記注入口流量制御デバイス(14)及び前記ドレインシステム(6)を制御するように構成される、制御ユニット(12)とを備え、前記ドレインシステム(6)は、チャンバ(2)の前記滅菌媒体注出口(3b)に接続されるドレイン入口(60)と、チャンバ(2)を空にするための真空システム(8)に接続されるドレイン出口(62)と、前記ドレイン入口(60)と前記ドレイン出口(62)を接続する第1コンジット(64)と、前記第1コンジット(64)に沿って配置される比例弁(66)であって、制御パラメータと比例弁(66)の弁開度の間の所定の連続的関係に従って、前記第1コンジット(64)を通じた流体の流れを部分的に制限するために、制御ユニット(12)によって制御可能である、比例弁(66)とを備える。