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X-RAY APPARATUS AND X-RAY MEASUREMENT METHOD
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
MUKAIDE TAIHEI,向出 大平,NIINUMA YUTO,新沼 優人
申请号:
JP2013125722
公开号:
JP2014014670A
申请日:
2013.06.14
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray apparatus and an X-ray measurement method that can increase sensitivity to a positional shift of an X-ray flux as compared with known art.SOLUTION: An X-ray apparatus includes detector means having pixels configured to detect an intensity of the X-ray flux which has been split by a splitting element and has passed through an object to be detected. The X-ray apparatus also includes an absorbing element arranged between two pixels of the detector means and configured to absorb part of the X-ray flux.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】 公知の手法よりも、X線束の位置ずれに対する感度を向上することのできるX線装置およびX線測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 分割素子により分割され、被検知物を透過したX線束の強度を検出する複数の画素を有する検出手段を有する。また、検出手段の2画素の間に配置され、X線束の一部を吸収する吸収素子を有する。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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