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借助激光辐射进行材料处理的装置和方法
专利权人:
卡尔蔡司医疗技术股份公司
发明人:
马克·比朔夫,德克·米尔霍夫,格雷戈尔·施托布拉瓦
申请号:
CN201210134780.X
公开号:
CN102652696B
申请日:
2006.10.04
申请国别(地区):
CN
年份:
2014
代理人:
摘要:
在用于借助激光辐射进行材料处理的装置中,所述装置包括:激光辐射源(S),该激光辐射源发射用于与材料(5)相互作用的脉冲激光辐射(3);光学装置(6),该光学装置将脉冲激光辐射(3)聚焦到材料(5)中的相互作用中心(7),其中激光脉冲在围绕每个分配给所述激光脉冲的相互作用中心(7)的区(8)中与材料(5)相互作用,使得材料(5)在相互作用区(8)中分离;扫描单元(10),该扫描单元在材料(5)内调节相互作用中心的位置;和控制单元(17),该控制单元控制扫描单元(10)和激光辐射源(S),使得在材料(5)中通过相互作用区(8)的连续布置产生切割面(9),设计:控制单元(17)控制激光辐射源(S)和扫描单元(10),使得相互作用中心(7)以彼此位置间隔a≤10μm地定位。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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