PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic vibrator unit having a structure in which transmission and reception sensitivity can be increased by acting a repulsion force associated with a collision on a vibration film and failures associated with vibration and collision of the vibration film do not occur easily, and to provide an ultrasonic probe equipped with the ultrasonic vibrator unit.SOLUTION: An ultrasonic vibrator 10 comprises: a substrate 20 having a recessed part 22 a vibration film 30 attached to the substrate 20 and a cavity 40 formed between the substrate 20 and the vibration film 30. A projected part 26 projected to the vibration film 30 side from a bottom face 22a side of the recessed part 22 is formed in the cavity 40. In the ultrasonic vibrator 10, the projected part 26 and the vibration film 30 collide each other when the vibration film 30 vibrates. Due to a repulsion force generated by the collision, vibration of the vibration film 30 is increased.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】振動膜に対して衝突に伴う反発力を作用させることにより送受信感度を上昇させることが可能であると共に、振動膜の振動及び衝突に伴う故障が発生しにくい構造の超音波振動子ユニット、及びこの超音波振動子ユニットを備えた超音波プローブの提供を目的とした。【解決手段】超音波振動子10は、凹部22を有する基板20と、基板20に対して装着された振動膜30と、基板20及び振動膜30の間に形成されたキャビティ40とを有する。キャビティ40の内部には、凹部20の底面22a側から振動膜30側に隆起した隆起部26が形成されている。超音波振動子10は、振動膜30が振動する際に隆起部26と振動膜30とが衝突する。これにより発生する反発力により、振動膜30の振動が増幅される。【選択図】図2
