PROBLEM TO BE SOLVED: To measure with high accuracy the phase distribution of a signal emitted from a test object with smaller measurement counts using phase shift method.SOLUTION: A phase distribution measurement device comprises: phase modulation means 170 for modulating a portion of light from a light source and generating a first light and a second light having a phase difference from each other measurement means 230 for measuring a signal generated by interference between the first light and the second light with which the test object is irradiated and processing means 240 for calculating the phase distribution of the signal by a phase shift method. The processing means creates a plurality of data sets constituted from a plurality of measured data obtained by multiple sessions of measurement, calculates, for each data set, a corrected phase difference in which an error in phase difference by the phase shift method is corrected, and calculates phase distribution combining phase components that are calculated so as to satisfy a prescribed condition in each of the plurality of data sets.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】位相シフト法を用いて少ない測定回数で被検体から出射する信号の位相分布を高精度に測定する。【解決手段】位相分布測定装置は、光源からの光の一部の位相を変調して互いに位相差を有する第1の光と第2の光を生成する位相変調手段170と、第1の光と被検体に照射された第2の光との干渉により生じる信号の測定を行う測定手段230と、位相シフト法により上記信号の位相分布を算出する処理手段240とを有する。処理手段は、複数回の測定により得られる複数の測定データにより構成されるデータセットを複数作成し、各データセットに対して、位相シフト法における位相差の誤差を校正した校正位相差を算出し、該校正位相差に基づいて位相分布の位相成分を算出し、複数のデータセットのそれぞれにおいて所定条件を満たすように算出された位相成分を組み合わせて位相分布を算出する。【選択図】図2
