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DISPOSITIF DE TOMOGRAPHIE PAR COHÉRENCE OPTIQUE, PROCÉDÉ D'IMAGERIE ET PROGRAMME D'IMAGERIE AVEC STOCKAGE SUR UN SUPPORT NON TRANSITOIRE LISIBLE PAR ORDINATEUR
专利权人:
NEC CORPORATION;日本電気株式会社
发明人:
NAKAMURA Shigeru,中村滋
申请号:
JPJP2019/042930
公开号:
WO2020/100626A1
申请日:
2019.10.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
Provided are an optical coherence tomography device, imaging method, and imaging program that have position accuracy that is not easily influenced by operation conditions of a light source and the like. An optical coherence tomography device (100) comprises: a branching and merging device (103) that branches light emitted from a wavelength-sweeping laser light source (101) into object light and reference light; a balance-type light-reception device (108) that generates information about variation in the intensity ratio between interference light R(5) and R(6) produced by reference light and object light that has passed through a transparent substrate (106) having a structure with varying thickness formed on the surface thereof, been emitted onto an object (200) of measurement, and been scattered by the object (200) of measurement; and a control unit (110) that acquires structure data for the depth direction of the object (200) of measurement on the basis of the information about the variation in the interference light R(5), R(6) intensity ratio. Using the position of the structure on the transparent substrate (106) as a reference, the control unit (110) connects a plurality of items of depth-direction structure data acquired while moving the emission position of the object light R(1).L'invention concerne un dispositif de tomographie par cohérence optique, un procédé et un programme d'imagerie qui présentent une précision de positionnement qui n'est pas facilement influencée par les conditions de fonctionnement d'une source de lumière et analogues. Un dispositif de tomographie par cohérence optique (100) comprend : un dispositif de division et de fusion (103) qui divise la lumière émise par une source de lumière laser à balayage des longueurs d'onde (101) en lumière objet et en lumière de référence ; un dispositif de réception de lumière de type équilibré (108) qui génère des informations concernant la variation du rapport d'intensité entre les lumières d'interférenc
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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