vacuum sterilization process and device. The present invention relates to a vacuum sterilization process by applying steam of a mixture of peracetic acid with hydrogen peroxide and atmospheric air residual gas plasma excited by pulsed electric discharge; operating devices and methods used in the sterilization process, preferably a dry, low temperature (room temperature) vacuum sterilization process.processo e dispositivo de esterilização a vácuo. a presente invenção refere-se a um processo de esterilização a vácuo com a aplicação de vapor de uma mistura de ácido peracético com peródixo de hidrogênio e plasma de gás residual de ar atmosférico, excitado por descarga elétrica pulsada; dispositivo operacionais e métodos usados no processo de esterilização, de preferência um processo de esterilização em vácuo, seco e a baixa temperatura (temperatura ambiente).