一种用于电子束扫描CT的X射线源的阵列靶及制作方法

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专利权人:

中国电子科技集团公司第三十八研究所

发明人:

郑磊,刘华荣,王俊听,李艺晶,罗婷婷

申请号：

CN201710851400.7

公开号：

CN107887243B

申请日:

2017.19.09

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

一种用于电子束扫描CT的X射线源的阵列靶,包括线性阵列靶位、包埋层和靶基;所述线性阵列靶位包括至少一个单独的靶位,所述单独的靶位为线条状,深入所述包埋层0.5至10μm,所述靶位的两端延伸到所述包埋层的边缘,靶位的宽度小于或等于电子束直径,最佳为电子束束流密度的半峰宽尺寸,可近似为电子束直径的1/2至2/3;靶位之间的间隙等于或大于电子束直径;所述包埋层用于配置所述靶位;所述靶基配置于所述包埋层和靶位的底部;所述靶基的厚度为20至300μm。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/