Methods, systems, and devices for decontaminating materials containing biological or biologically derived materials, such as microorganisms or DNA products, are provided. The methods, systems, and devices may be used for decontaminating or sterilizing materials, such as surfaces, including, but not limited to reducing the number of viable microorganisms on surfaces. The methods, systems, and devices may further be used for rendering DNA non-amplifiable in nucleic acid amplification reactions that synthesize DNA amplification products.L'invention concerne des procédés et des systèmes de distribution d'une phase gazeuse d'une source de liquide à composants multiples pour la distribution dans une application de procédé critique. Les procédés comprennent la concentration d'un composant de la source de liquide qui est moins volatil que l'eau pour la distribution d'un courant de gaz comprenant le composant moins volatil dans une application de procédé critique. Des applications de procédé critique comprennent des applications de décontamination et de traitement microélectronique.
