砷化镓光电阴极的清洗方法
- 专利权人:
- 南京理工大学
- 发明人:
- 张益军,荣敏敏,方城伟,张锴珉,舒昭鑫,张景智,戴庆鑫,王自衡
- 申请号：
- CN201910838128.8
- 公开号：
- CN110813902A
- 申请日:
- 2019.05.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种砷化镓光电阴极的清洗方法,包括采用有机溶剂超声波清洗,去除阴极表面油脂;采用去离子水超声波清洗;干燥阴极表面;采用紫外臭氧清洗;采用氢氟酸刻蚀,去除阴极表面氧化物;去离子水冲洗阴极表面残留的酸;干燥阴极表面。本发明避免了强酸强碱等高危害性溶剂的使用,可有效去除砷化镓表面污染物,得到清洁效果好、量子效率高的砷化镓光电阴极。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
