PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acoustic sensor whose frequency region for sound collection can be efficiently adjusted, and whose sound collection sensitivity is high.SOLUTION: An acoustic sensor 20 includes: a cylindrical spacer 21 a diaphragm 23 fitted to a spacer to close one side opening of the spacer a back plate 26 for closing the another side opening of the spacer a vibrating electrode film 27 provided on the back plate side surface of the diaphragm 23 a back electrode film 28 provided on the diaphragm side surface of the back plate 26 and an electret film 29. The diaphragm 23 is provided with a groove 24 formed on the inner side than an inner surface of the cylindrical spacer 21 to divide the diaphram 23 into an inside area 23i and an outside area 23o. The electret film 29 is formed on the back electrode film side surface of the vibrating electrode film 27 and on the inner side than the groove 24.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】集音する周波数領域の調整が効率的で、集音感度の高い音響センサの提供。【解決手段】音響センサ20は、筒状を成すスペーサ21と、スペーサの一方の開口を塞ぐようにスペーサに取り付けられている振動板23と、スペーサの他方の開口を塞ぐ背面板26と、振動板23の背面板側に設けられている振動電極膜27と、背面板の振動板側に設けられている背面電極膜28と、エレクトレット膜29と、を備える。振動板23には、筒状のスペーサ21の内面よりも内側に、振動板23を内側領域23iと外側領域23oとに分ける溝24が形成されている。エレクトレット膜29は、振動電極膜27の背面電極膜側であって、溝24よりも内側に形成されている。【選択図】図1
