用于净化净化物的净化装置
- 专利权人:
- 迈科工程有限责任两合公司
- 发明人:
- V.施奈德,T.内格尔,T.波伊克特,H-J.劳贝尔,I.维甘德
- 申请号：
- CN201280017192.6
- 公开号：
- CN103533876A
- 申请日:
- 2012.02.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提出一种用于净化净化物(112)的净化装置(110)。净化装置(110)具有用于容纳净化物(112)的至少一个净化腔(118)。净化装置(110)在净化腔(118)中具有至少一个流体源(128)用于以至少一个净化流体加载净化物(112)。净化装置(110)此外具有至少一个等离子体源(162，164，214，218，246，248，278)，其设立用于在至少一个气体中点燃至少一个等离子体并且产生至少一个反应气体。净化装置(110)设立用于将反应气体带到与净化物(112)的至少一部分相接触。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
