The present invention provides apparatus for producing ultra-pure water , pure water , and the point of Yuzu Yuzu points with the ultrapure water production unit a method for manufacturing ultra-pure water system for cleaning and disinfection comprising a flow of the ultrapure water to be connected , at least some of the alkali washing to washing with alkaline solution and a cleaning process in the system for performing the sterilization process by the sterilization process for sterilizing be sterilized after the alkali washing 2 provides a method of sterilizing washing ultrapure water production system , characterized in that performing at least once. In this way , by performing the cleaning sterilization process two or more times , in the ultrapure water production system based metal , organic substances, fine particles , it is possible to remove the live cells with high efficiency , ultra-pure water can be produced to satisfy the sterilization and washing , water demand in a short period of time there .본 발명은, 초순수 제조 장치, 초순수의 유즈 포인트 및 상기 초순수 제조 장치와 상기 유즈 포인트를 접속하는 초순수의 유로로 이루어지는 초순수 제조 시스템을 세정 및 살균하는 방법으로서, 계 내의 적어도 일부를 알카리성 용액으로 세정하는 알칼리 세정 공정과 이 알칼리 세정후에 살균수로 살균하는 살균 공정을 행하는 세정 살균 공정을 2회 이상 행하는 것을 특징으로 하는 초순수 제조 시스템의 세정 살균 방법을 제공한다. 이 방법에서는, 세정 살균 공정을 2회 이상 행함으로써, 초순수 제조 시스템계 내의 금속, 유기물, 미립자, 생균을 고효율로 제거할 수 있고, 세정 살균후, 단기간에 요구 수질을 만족시키는 초순수를 제조할 수 있다.
