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RADIATION IMAGING APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND RADIATION IMAGING SYSTEM
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
ICHIMURA TOMOAKI,市村 知昭,SARUTA HISASHIRO,猿田 尚志郎,TAKENAKA KATSURO,竹中 克郎
申请号:
JP2018213680
公开号:
JP2020079767A
申请日:
2018.11.14
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
To provide a mechanism capable of improving mechanical strength, in a radiation imaging apparatus in which a scintillator is arranged in a recess formed in a substrate.SOLUTION: A radiation imaging apparatus includes a sensor substrate 101 in which a plurality of pixels for converting light into an electrical signal are provided on a first surface 102 located on a side on which radiation 401 is made incident and a recess 104 is provided in a second surface 103 located on the side opposite to the first surface 102, a scintillator 111 which is provided in the recess 104 and converts the radiation 401 into the light, and a substrate 113 which is adhered to the second surface 103 of the sensor substrate 101 and the scintillator 111 through an adhesive layer 112.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】基板に形成された凹部にシンチレータを配置する放射線撮像装置において、機械的強度の向上を実現する仕組みを提供する。【解決手段】放射線401が入射する側に位置する第1の面102に、光を電気信号に変換する画素が複数設けられており、第1の面102とは反対側に位置する第2の面103に凹部104が設けられたセンサ基板101と、凹部104に設けられ、放射線401を光に変換するシンチレータ111と、センサ基板101の第2の面103及びシンチレータ111に対して、接着層112を介して接着された基板113を備える。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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