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一种基于共形键合工艺的软式曲面微流控器件制造方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 陈良洲,安宏彬,王祥阳,戴江
- 申请号：
- CN201910630230.9
- 公开号：
- CN110407161A
- 申请日:
- 2019.12.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明属于微纳制造领域,公开了一种基于共形键合工艺的软式曲面微流控器件制造方法,包括以下步骤:(1)带微通道图案的环氧树脂曲面微通道模板的制备;(2)准备光滑的曲面微通道模板;(3)基于两个环氧树脂曲面微通道模板浇铸成型曲面带微通道图案硅橡胶薄膜;(4)在钢质或铝质凸模表面涂覆液态硅橡胶,加热固化形成曲面光滑硅橡胶薄膜;(5)对两个硅橡胶薄膜进行电晕处理,贴合加热形成不可逆键合,得到具有目标微通道的微流控器件。本发明可以制备出软式的曲面微流体器件,比如微流体隐形眼镜,其中制备出的曲面的环氧树脂微通道模板可多次重复利用,方法简单、高效,可应用于顺形穿戴式微流体器件的制备。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
