Problem to be solved: to realize stable and highly efficient ultraviolet ray irradiation under various environments.Solution: in the ultraviolet ray irradiating apparatus 10, the axial flow fan 20 is disposed coaxially with the tubular channel 30 to supply the fluid. In an area FA of the excimer lamp 40, an excimer lamp 40 is disposed in a region where a complex flow (non-uniform turbulence) in which the flow velocity (direction and velocity) is greatly varied by the location is dominant.Diagram【課題】様々な使用環境下においても、安定して高効率の紫外線照射処理を実現する。【解決手段】紫外線照射装置10において、軸流ファン20を管状流路30と同軸的に配置し、流体を供給する。そして、エキシマランプ40の配置された領域FAにおいて、場所によって流速(方向および速さ)が大きく異なる複雑な流れ(非一様乱流)が支配的な流れ場が生じている領域に、エキシマランプ40を配置する。【選択図】図1