PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generator capable of effectively suppressing ozone generation by simple structure.SOLUTION: A plasma generator comprises a pair of opposite electrodes, and in which predetermined voltage is applied between the electrodes to cause plasma arc, the pair of electrodes have: a pair of conductor substrates and a dielectric film formed at least one of opposite surfaces of the conductor substrates, fluid circulation holes are provided, respectively, at corresponding parts of the pair of electrodes, constituted so that the fluid circulation holes are penetrated, and 30% or more of the entire surface area of the dielectric film is covered with an ozone remover.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】簡易な構成によりオゾン発生を効果的に抑制することができるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】対向する一対の電極を備え、それら電極間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するプラズマ発生装置であって、前記一対の電極が、一対の導体基板と、前記導体基板の対向面の少なくとも一方に形成された誘電体膜とを有するとともに、前記一対の電極の対応する箇所には、それぞれ流体流通孔が設けられ、これらが貫通するように構成してあり、前記誘電体膜の全表面積の30%以上が、オゾン除去剤で覆われている。【選択図】図4
