Has a deep ultraviolet light source and a control unit that has at least one deep ultraviolet light emitting diode toward the killed microbial cells emit a deep ultraviolet, art control means, the irradiation time (t, which is defined as the time for irradiating a deep ultraviolet (1) killed bacteria ) (in seconds), (2) the killed microbial cells with deep ultraviolet distance between the light source (d) (unit: ㎝), and (3) of light emission output (P) (in the deep ultraviolet light sources: one selected from ㎽) accumulated irradiation amount (I) of the deep ultraviolet to be irradiated to the control for the above, the killed microbial cells in the irradiation time (unit: mJ / ㎠) is a predetermined value that is predetermined, UV disinfection device as that in (I 0).하나 이상의 심자외선 발광 다이오드를 갖고 피살균체를 향해 심자외선을 출사하는 심자외선 광원과 제어 수단을 갖고, 당해 제어 수단은, (1) 피살균체에 심자외선을 조사하는 시간으로서 정의되는 조사 시간(t)(단위:초), (2) 피살균체와 심자외선 광원 사이의 거리(d)(단위:㎝), 및 (3) 심자외선 광원의 발광 출력(P)(단위:㎽)으로부터 선택되는 하나 이상을 제어해서, 조사 시간 내에 피살균체에 대해 조사되는 심자외선의 적산 조사량(I)(단위:mJ/㎠)이 미리 정해진 소정 값(I0)으로 되도록 하는 것인, 자외선 살균 장치.