一种超净台自动电极探入装置
- 专利权人:
- 合肥优亿科机电科技有限公司
- 发明人:
- 滕海燕
- 申请号：
- CN201611268068.3
- 公开号：
- CN106582915A
- 申请日:
- 2016.12.31
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种超净台自动电极探入装置，包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构，该锁紧机构包括平行布置的固定法兰和密封法兰、位于两侧的丝杠和导轨，以及用于驱动丝杠的驱动电机，所述固定法兰与密封法兰之间设置有一对压缩波纹管，所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰。本发明的高压电极杆能够垂直于超净台的台面进行伸缩，并通过锁紧机构进行限位，有效提高了超净台的空间利用率。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
