纳米聚苯胺复合声表面波型湿度传感器及其制作方法
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 李扬,邓超,杨慕杰
- 申请号：
- CN201110131564.5
- 公开号：
- CN102297895A
- 申请日:
- 2011.05.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 韩介梅
- 摘要：
- 本发明公开的纳米聚苯胺复合声表面波型湿度传感器，由覆盖有聚合物纳米湿敏薄膜的叉指金电极元件和真空封装的声表面波谐振型元件串联组成。采用溶液浸涂工艺制备，制备方法简单，成本低。本发明的湿度传感器具有湿度响应范围宽，感湿灵敏度高，响应快，回复性佳，且稳定性强，可在室温下检测等特点。特别在低湿范围（相对湿度4%~20%）下，也具有很高的响应灵敏度和良好的响应线性度，可实现低湿干燥环境的湿度检测。可广泛应用于工农业生产过程、医药、仓储、电力系统绝缘介质监控、大气环境监测等诸多领域，实现对于环境湿度精确测量与控制。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
