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光干渉断層撮影によって物体の内部寸法を測定するためのシステムおよび方法
专利权人:
ウェイブライト ゲーエムベーハー
发明人:
フォグレル クラウス,ヴルネル クリスティアン,ゴルシュボス クラウディア,ドニツキー クリストフ
申请号:
JP2013553795
公开号:
JP2014505562A
申请日:
2011.02.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
A system is provided for optically measuring internal dimensions of a sample object comprising internal interfaces at which the refraction index changes so that a portion of incident light is backreflected and/or backscattered and can be detected by means of optical coherence tomography. The system comprises at least one first OCT device adapted to measure internal dimensions in a first partial volume of the object and at least one second OCT device adapted to measure internal dimensions in a second partial volume of the same object, wherein the second partial volume is at least partially different from the first partial volume. The first and second OCT devices may share at least partially spatially superimposed first and second sample arms, which may have respective different focal lengths and pass through a common optical lens system toward the objectサンプル物体(10)、たとえば目(20)の内部寸法を光学的に測定するためのシステムであって、前記物体は、入射光の一部が逆反射および/または逆散乱されて光干渉断層撮影(OCT)によって検出できるように、屈折率の変化する位置にある複数の内部インターフェイス(14、14’、14’’)を有し、物体(10)の第1の部分領域(17)における内部寸法を測定するための少なくとも1つの第1のOCT装置(OCT1)と、前記物体(10)の第2の部分領域(19)の内部寸法を測定するために適合され、第1のOCT装置と組み合わされる少なくとも1つの第2のOCT装置(OCT2)を有し、第2の部分領域(19)が少なくとも部分的に第1の部分領域(17)と異なったものとされるシステム(OCT12-OCT12’’’)が提供される。第1のOCT装置(OCT1)および第2のOCT装置(OCT2)は、少なくとも部分的に空間的に重ね合わせられた第1のサンプルアーム(SA1)および第2のサンプルアーム(SA2)を共有することができ、第1のサンプルアーム(SA1)および第2のサンプルアーム(SA2)はそれぞれ異なる焦点距離(f1、f2)を有し、物体の方向に向かって共通の光学レンズシステム(L12)を通過し、共通の光源(LS12)を有することができる。物体の第1の部分領域(17)および同じ物体(10)の第2の部分領域(19)における内部寸法は、光干渉断層撮影(OCT)によって1回の測定で、しかし異なる空間分解力で測定される。【選択図】 図3
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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