温度差测量装置
- 专利权人:
- 欧姆龙株式会社
- 发明人:
- 中川慎也
- 申请号：
- CN201680010289.2
- 公开号：
- CN107250746B
- 申请日:
- 2016.24.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 温度差测量装置具备:顶面侧开口的有底筒状的封装部;MEMS器件,配置在封装的内底面上,且该MEMS器件具有一个以上的热电堆,所述热电堆对因经由封装的底部流入的热量而在器件内产生的温度差进行测量;以及热量增加单元,使从MEMS器件向封装的顶面侧流出的热量增加。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
