用于检测电子束的多层检测器和方法
- 专利权人:
- 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
- 发明人:
- 安德斯·克里斯蒂安松,拉尔斯·奥克·内斯隆德,汉斯·哈尔斯坦迪斯
- 申请号：
- CN200680040009.9
- 公开号：
- CN101297219A
- 申请日:
- 2006.10.10
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 章社杲`吴贵明
- 摘要：
- 披露了一种用于检测电子束(106)强度的检测器和方法，一种示例性的检测器包括多层复合结构(104)，其具有导电芯(110)、形成在该导电芯(110)上的绝缘层(112)以及电连接到电压电位并形成在该绝缘层(112)上的外部导电层(114)。支撑件(116)配置为在该电子束发生器(102)和目标区域(108)之间，将该导电芯(110)设置为与电子束发生器(102)对准，并位于将由该电子束发生器(102)产生的电子束(106)的直接路径内。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
