To provide a catheter microfabricated temperature sensor can measure the interface temperature at or near the present invention relates distal end portion are integrated. A catheter with a [SOLUTION] temperature sensor, and has a tip portion that includes a catheter body, a heat resistance temperature sensor which is integrated on the outer surface. The temperature sensor comprises a microfabricated thin film assembly, layers one of which is a sensor layer of refractory material. In one embodiment, the tip portion has a flexible tube with a temperature sensor on its outer surface. In another embodiment, the tip portion has a tip electrode is extended with the temperature sensors on the outer surface. [Selection] Figure Figure 1【課題】遠位端部またはその近傍で界面温度を測定できる微細加工温度センサが一体化されたカテーテルを提供すること。【解決手段】温度センサを備えたカテーテルであって、カテーテル本体と、外面に一体化された耐熱温度センサを備えた先端部分を有する。この温度センサは、微細加工薄膜組立体を含み、その1つの層が耐熱材料のセンサ層である。一実施形態では、先端部分は、その外面に温度センサを備えた可撓性チューブを有する。別の実施形態では、先端部分は、外面に温度センサを備えた延長されたチップ電極を有する。【選択図】図1