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WAVEFRONT MEASURING APPARATUS, WAVEFRONT MEASURING METHOD, AND OBJECT MEASURING APPARATUS
专利权人:
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人:
KAJIKI, KOUSUKE,OUCHI, TOSHIHIKO,ITSUJI, TAKEAKI
申请号:
EP12790345
公开号:
EP2715319A4
申请日:
2012.04.19
申请国别(地区):
EP
年份:
2015
代理人:
摘要:
The present invention provides a wavefront measuring apparatus and method, and object measuring apparatus which can increase resolution of wavefronts of electromagnetic wave pulses without being limited by the number of detecting elements. An embodiment of the present invention includes a detecting part detecting electric field strength of an electromagnetic wave pulse, and an optical delaying part delaying the electromagnetic wave pulse so as to provide a first propagation path and a second propagation path provided in a spatial region different from a spatial region of the first propagation path and having a length different from a length of the first propagation path, wherein time waveforms of the electromagnetic wave pulse are constructed using a signal associated with the electric field strength detected by the detecting part, and a wavefront is obtained based on the time waveforms and information associated with the lengths of the first and second propagation paths.La présente invention concerne un appareil de mesure de front donde et un procédé correspondant, et un appareil de mesure dobjet qui peut augmenter la résolution des fronts donde dimpulsions donde électromagnétique sans être limités par un nombre déléments de détection. Un mode de réalisation de la présente invention comprend une partie de détection détectant lintensité du champ électrique dune impulsion donde électromagnétique, et une partie de retard optique retardant limpulsion donde électromagnétique afin de fournir un premier chemin de propagation et un second chemin de propagation fourni dans une région spatiale différente de la région spatiale du premier chemin de propagation et ayant une longueur différente de la longueur du premier chemin de propagation, les formes donde de limpulsion donde électromagnétique étant construites à laide dun signal associé à lintensité de champ électrique détectée par la partie de détection, et une forme donde étant obtenue sur la base des formes donde temporel
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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