Imaging system and method with improved frequency domain interferometry农业专利-农业专业知识服务系统

专利权人:: カールツァイスメディテックインコーポレイテッド;カールツアイスメディテックアクチエンゲゼルシャフト;カールツァイスメディテックインコーポレイテッド

发明人:: シュモル、ティルマン,タムリンソン、アレクサンドルアール．,エベレット、マシュージェイ．,シェモンスキ、ネイサン,タムリンソン、アレクサンドルアール.,エベレット、マシュージェイ.

摘要：: Improved interferometric imaging systems and methods are presented. One embodiment is a partial field frequency domain interferometric imaging system in which a light beam is scanned across a sample in two directions and light scattered from the object is collected using a spatially resolved detector. The light beam can illuminate a spot, line or two-dimensional area on the sample. Additional embodiments with applicability to partial field interferometry systems and other types of interferometry systems are also presented.改善された干渉撮像のシステムおよび方法が提示される。１つの実施形態は、光ビームがサンプルにわたって２つの方向でスキャンされ、物体から散乱した光が空間的分解検出器を使用して集光される部分視野周波数領域干渉撮像システムである。光ビームは、サンプル上のスポット、線または２次元エリアを照明し得る。部分視野干渉法システムおよび他のタイプの干渉法システムに対する適用性を有する追加的な実施形態も提示される。