flow sensor has a flow restrictor, the flow restrictor is disposed in the passage so as to pass through the fluid always flow restrictor passing through the passage. Flow sensor also provides a upstream pressure sensor coupled to the passageway at a point upstream of the flow restrictor, the upstream pressure sensor configured to measure and provide upstream pressure of the fluid in passage, flow restrictor a downstream downstream pressure sensor coupled to the passageway in terms of, and downstream pressure sensor configured to measure and provide a downstream pressure of the fluid in the passage, is coupled to the passageway, and the fluid in the passage and a temperature sensor configured to measure and provide temperature. Flow sensor also includes a flow sensor processor, flow sensor processor is coupled to the upstream and downstream pressure sensor and the temperature sensor receives the measured values from them, at least in part on the measured pressure and temperature configured to calculate a correction flow rate onフローセンサが流量制限器を有し、流量制限器は、通路を通過する流体が必ず流量制限器を通過するように通路内に設置される。フローセンサはまた、流量制限器の上流の点で通路に結合された上流圧力センサであって、通路内の流体の上流圧力を測定及び提供するように構成された上流圧力センサと、流量制限器の下流の点で通路に結合された下流圧力センサであって、通路内の流体の下流圧力を測定及び提供するように構成されたた下流圧力センサと、通路に結合され、且つ通路内の流体の温度を測定及び提供するように構成された温度センサとを有する。フローセンサはまたフローセンサ・プロセッサも有し、フローセンサ・プロセッサは、上流及び下流圧力センサ並びに温度センサに結合され、それらから測定値を受けて、測定された圧力及び温度に少なくとも部分的に基づいて補正流量を計算するように構成される。
