An object of the present invention is to provide an ozone generator capable of generating ozone with high efficiency.The ozone generator of the present invention comprises a raw material gas supply means for supplying a raw material gas containing oxygen, a gas flow path forming member for forming a gas flow path through which the raw material gas flows from the raw material gas supply means, And an ultraviolet light source that emits ultraviolet rays, and irradiates ultraviolet rays from the ultraviolet light source to the source gas that flows through the gas flow path, thereby absorbing ultraviolet rays into oxygen in the source gas to generate ozone, And an excimer lamp that emits ultraviolet rays having a wavelength of 200 nm or less, wherein the flow rate of the source gas in the region where the ultraviolet light source is disposed in the gas flow path is 0.1 m / s or more.본 발명은, 오존을 높은 효율로 생성할 수 있는 오존 발생기를 제공하는 것을 목적으로 한다.본 발명의 오존 발생기는, 산소를 함유하는 원료 가스를 공급하는 원료 가스 공급 수단과, 당해 원료 가스 공급 수단으로부터의 원료 가스가 유통되는 가스 유로를 형성하는 가스 유로 형성 부재와, 당해 가스 유로 내에 배치된, 자외선을 방사하는 자외선 광원을 구비하고, 당해 가스 유로를 유통하는 원료 가스에 당해 자외선 광원으로부터의 자외선을 조사함으로써 원료 가스 중의 산소에 자외선을 흡수시켜 오존을 생성하는 것으로서, 상기 자외선 광원은, 파장 200nm 이하의 자외선을 방사하는 엑시머 램프로 이루어지는 것이며, 상기 가스 유로에 있어서, 자외선 광원이 배치되어 있는 영역에서의 원료 가스의 유속이 0.1m/s 이상인 것을 특징으로 한다.
