PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve an active species generation device in which arc discharge hardly occurs near both end parts of an electrode.SOLUTION: An active species generation device 1 includes: a steam generation part 2 for evaporating water inside of a container 4 and a discharge part 3 for causing corona discharge. The discharge part 3 includes a discharge electrode 7 and a counter electrode 8. The counter electrode 8 is a cylindrical shape whose outer sides widen near the both end parts. The discharge electrode 7 is a linear shape and is arranged approximately at a center of the counter electrode 8.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】 電極の両端部付近において、アーク放電が起こりにくい活性種発生装置を実現する。【解決手段】 本発明に係る活性種発生装置1は、容器4の内部に水を蒸発させる水蒸気発生部2と、コロナ放電を起こす放電部3を備えており、放電部3は、放電電極7と対向電極8を備えており、対向電極8は、両端部付近で外側が広がる円筒形状であり、放電電極7は、線状であり、対向電極8内のほぼ中心に配置されていることを特徴とする。【選択図】 図1
