PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic probe in which a piezoelectric element with good quality is installed in a diaphragm.SOLUTION: An ultrasonic probe comprises an element chip 17 which has a piezoelectric element 23 and a housing which supports the element chip 17. The piezoelectric element 23 comprises: an upper electrode 25 a lower electrode 24 a piezoelectric film 26 which is held between the upper electrode 25 and the lower electrode 24 and an adhesion layer 24b which is formed of adhesiveness metal between the lower electrode 24 and an installation surface 46a of the piezoelectric element 23. The lower electrode 24 and the adhesion layer 24b include anti-diffusion metal. The adhesiveness metal is one of titanium, chromium and an oxide of titanium or chromium. The anti-diffusion metal is one of lead, lanthanum, strontium, tungsten and niobium. The content of the anti-diffusion metal in the lower electrode 24 and the adhesion layer 24b is within a range between 0.01 at% and 10 at%.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】品質の良い圧電体素子が振動板に設置された超音波プローブを提供する。【解決手段】超音波プローブは圧電体素子23を有する素子チップ17と、素子チップ17を支持する筐体と、を備える。圧電体素子23は、上部電極25と、下部電極24と、上部電極25と下部電極24とに挟まれた圧電体膜26と、下部電極24と圧電体素子23の設置面46aとの間に密着性金属で形成された密着層24bと、を備える。下部電極24及び密着層24bは、拡散防止性金属を含んで構成されている。密着性金属は、チタン、クロムまたはチタンもしくはクロムの酸化物のうちいずれか1つであり、拡散防止性金属は、鉛、ランタン、ストロンチウム、タングステンまたはニオブのうちいずれか1つであり、下部電極24及び密着層24bにおける拡散防止性金属の含有量は、0.01at%~10at%の範囲にある。【選択図】図13
