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이차원 어레이 X선 검출기의 검사 방법
专利权人:
发明人:
사또오 겐지
申请号:
KR1020127014462
公开号:
KR1013065120000B1
申请日:
2011.03.03
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要:
The present invention, by identifying the defective pixel size has a large growth potential for a short time, X-ray and that are not suitable to provide a test method which is capable of two-dimensional array X-ray detector recognizes the two-dimensional array X-ray detector for the purpose. Inspection method of the two-dimensional array X-ray detector is a plurality of times to stop the grant and give the bias voltage by the common electrode for bias voltage repeats the steps of, measuring a pixel value of each pixel in the state of not irradiated with X-rays a step of measuring the dark current value, and the pixel defect identification process to identify the defect pixel based on the pixel value of each pixel dark current measured at the measuring step value, the pixel defect position defect or defect pixel chunk of pixels identified in the identifying step Based on the size and a determination step of determining the suitability of the two-dimensional array X-ray detector.본 발명은, 단시간에 그 크기가 커지는 성장성을 갖는 결손 화소를 식별함으로써, X선 촬영에 적합하지 않은 이차원 어레이 X선 검출기를 인식하는 것이 가능한 이차원 어레이 X선 검출기의 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 이차원 어레이 X선 검출기의 검사 방법은, 공통 전극에 의한 바이어스 전압의 부여와 부여의 정지를 복수회 반복하는 바이어스 전압 공정과, X선을 조사하지 않는 상태에 있어서의 각 화소의 화소값을 측정하는 암전류값 측정 공정과, 암전류값 측정 공정에서 측정한 각 화소의 화소값에 기초하여 결손 화소를 식별하는 결손 화소 식별 공정과, 결손 화소 식별 공정에 있어서 식별한 결손 화소의 총수 또는 결손 화소 덩어리의 크기에 기초하여 이차원 어레이 X선 검출기의 적부를 판정하는 판정 공정을 구비한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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