带电粒子束照射装置
- 专利权人:
- 国立研究开发法人量子科学技术研究开发机构
- 发明人:
- 古川卓司,高山茂贵,矢泽孝,金井芳治,佐藤耕辅,折笠朝文,小柳圭
- 申请号：
- CN201580058909.5
- 公开号：
- CN106999729B
- 申请日:
- 2015.30.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 提供一种能够抑制大型化、并且能够确保足够的照射野的带电粒子束照射装置。本实施方式的带电粒子束照射装置具备:第一扫描电磁体部,向与带电粒子束所入射的第一方向实质上正交的第二方向偏转上述带电粒子束;以及第二扫描电磁体部,向与上述第一方向以及上述第二方向实质上正交的第三方向偏转上述带电粒子束偏转,上述第一扫描电磁体部以及第二扫描电磁体部相对于上述第一方向并列地配置。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
