对基板作业系统
- 专利权人:
- 富士机械制造株式会社
- 发明人:
- 须原信介,儿玉诚吾
- 申请号：
- CN200810009764.1
- 公开号：
- CN101282636B
- 申请日:
- 2003.06.25
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 杨松龄
- 摘要：
- 本发明涉及一种满足结构紧凑、便利、适应性强等各种要求的对基板作业系统。在系统基座(10，570～574)上，多个对基板作业装置(12)在基板输送方向上整列配置。此外，这些对基板作业装置(12)为(a)可沿着装置轨道移动、(b)可与系统基座(10)分离地模块化、(c)自身也可配置基板输送装置而模块化、(d)相互邻接配置、(f)装置宽度规格化的形式。另外，该系统成为可对跨越在两个以上的对基板作业装置(12)上的电路基板进行作业的形式。再者，对基板作业装置(12)为XY滑动型装置时，滑动装置成为多段式(伸缩式)形式。如此，成为可满足上述要求的系统。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
