FIELD: machine building.SUBSTANCE: invention relates to a microvalve for use in biosensor, to a micro fluid device, to use of said device, as well as to a micro fluid element. Normally closed microvalve for use in microfluidic device comprises a body part, a seat, an inlet and an outlet and a flexible pre-deformed membrane. Flexible pre-deformed membrane is located so that preliminary compression or preliminary tension presses membrane to valve seat in a normally closed position. Valve is designed to open vacuum under action of force applied to membrane.EFFECT: technical result is higher reliability, in particular, higher reliability of closed state of valve.14 cl, 21 dwgИзобретение относится к микроклапану для применения в биосенсоре, к микрофлюидному устройству, к применению такого устройства, а также к микрофлюидному элементу. Нормально закрытый микроклапан для применения в микрофлюидном устройстве содержит корпусную часть, седло, впускное и выпускное отверстия и гибкую предварительно деформированную мембрану. Гибкая предварительно деформированная мембрана расположена так, что предварительное сжатие или предварительное растяжение прижимает мембрану к седлу клапана в нормально закрытом положении. Клапан выполнен с возможностью открывания под действием силы вакуума, приложенной к мембране. Техническим результатом изобретения является повышение надежности работы клапана, в частности повышение надежности закрытого состояния клапана. 4 н. и 10 з.п. ф-лы, 21 ил.
