PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a sap collection device capable of forming a flow path inside a collection probe.SOLUTION: The present invention provides a method for manufacturing a sap collection device 1 having a collection probe 20 with a flow path 21 into which a sap flows. The method comprises: a sidewall-forming step of forming a pair of sidewalls 23 of the flow path 21 on a semiconductor substrate SB and a ceiling-forming step of bridging a sheet-like photoresist R2 over the upper ends of the pair of sidewalls 23 and thermally fusing them to remove unnecessary portions of the photoresist R2 to form a ceiling portion 24 of the flow path 21. According to the present invention, since the ceiling portion 24 of the flow path 21 is formed by using the sheet-like photoresist R2, the flow path 21 can be easily formed inside the collection probe 20.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】捕集プローブの内部に流路を形成できる樹液捕集装置の製造方法を提供する。【解決手段】樹液が流入する流路21を有する捕集プローブ20を備える樹液捕集装置1の製造方法であって、半導体基板SBに流路21の一対の側壁23を形成する側壁形成工程と、シート状のフォトレジストR2を一対の側壁23の上端に架け渡して熱融着し、フォトレジストR2の不要部分を除去して流路21の天井部24を形成する天井形成工程とを備える。シート状のフォトレジストR2を用いて流路21の天井部24を形成するので、捕集プローブ20の内部に流路21を容易に形成できる。【選択図】図1
