PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sterilization device which can supply oxygen and alcohol-derived active species.SOLUTION: A sterilization device according to the invention has a treatment chamber that stores a treatment object, decompression means that decompresses the inside of the treatment chamber, alcohol supply means that supplies alcohol into the treatment chamber, and ultraviolet irradiation means that irradiates the alcohol with ultraviolet rays.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】酸素及びアルコール由来の活性種を供給することのできる滅菌装置を提供すること。【解決手段】本発明による滅菌装置は、被処理物を収容する処理室と、処理室の内部を減圧する減圧手段と、処理室の内部にアルコールを供給するアルコール供給手段と、紫外線をアルコールに照射する紫外照射手段と、を備える。【選択図】図1