准直器元件的制造
- 专利权人:
- 西门子医疗有限公司
- 发明人:
- T·厄格勒,V·克里斯蒂奇
- 申请号：
- CN201910853124.7
- 公开号：
- CN110881996A
- 申请日:
- 2019.10.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及用于制造准直器元件(20)的方法。该方法至少具有以下步骤。在一个步骤中,涂覆光刻漆层(23)。使用栅格掩模(24)曝光光刻漆层(23),光刻漆层的曝光区域(25)与准直器元件的结构相对应。在此,准直器元件的结构被对准到共同的焦点。在另一个步骤中,通过形成准直器元件(20)的预结构(27)来显影光刻漆层(23)。在另一个步骤中,借助于阴极溅射涂覆X射线吸收层(20)。在另一个步骤中,至少除去预结构(27)的区域中的X射线吸收层(20)。本发明还提供这样的准直器元件(20)、用于制造散射辐射准直器(37)的方法、这样的散射辐射准直器(37)、辐射检测器(31)以及CT设备(30)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
